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多層復(fù)合玻璃測量
近日，中國科學(xué)院沈陽自動化研究所科研團(tuán)隊針對多層復(fù)合玻璃厚度測量，提出了一種基于正交色散的大量程高精度譜域光學(xué)低相干測量方法。該研究成果于近期在線發(fā)表于國際儀器測量領(lǐng)域期刊IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT（中國科學(xué)院2區(qū)TOP期刊，影響因子5.6）。
多層復(fù)合玻璃用途廣泛，普遍采用“有機(jī)玻璃-透明聚碳酸酯-有機(jī)玻璃”的異質(zhì)多層復(fù)合式結(jié)構(gòu)，其性能取決于加工過程中對多層復(fù)合玻璃中間耦合層（透明聚碳酸酯）的厚度的控制。然而現(xiàn)有測量方法大多只能測量多層復(fù)合玻璃的外層廓形及粗糙度，難以測量中間層的厚度、廓形以及結(jié)合面平整度，導(dǎo)致多層復(fù)合玻璃性能與理論設(shè)計無法閉環(huán)，制約了其性能的精確評價與調(diào)控。
為了解決上述問題，沈陽自動化所研究團(tuán)隊提出了一種基于正交色散的大量程高精度譜域光學(xué)低相干測量方法。科研人員通過使用虛像相控陣列和光柵搭建的正交色散系統(tǒng)，將干涉光信號轉(zhuǎn)變?yōu)槊嫔⒐庑盘枺焕霉庾V相機(jī)采集面色散光信號，并通過信號解調(diào)技術(shù)對面色散光信號進(jìn)行解調(diào)，從而得到玻璃厚度。科研團(tuán)隊利用該方法開展了測量試驗。結(jié)果表明，該方法可測量最大厚度為41mm的多層復(fù)合玻璃，最大測量速度440點/秒，最優(yōu)測量精度0.005mm。
該研究成果得到了國家重點研發(fā)計劃、博士后面上科學(xué)基金、遼寧省中央引導(dǎo)地方科技發(fā)展專項等項目的支持。（工藝裝備與智能機(jī)器人研究室）
來源：中國科學(xué)院沈陽自動化研究所
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