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案例頻道鐘新華，彭立波，易文杰 中國電子科技集團公司第四十八研究所
摘要：劑量控制器是離子注入機的核心部件，主要功能有精確測量離子注入機束流與注入劑量，控制離子束在電場中水平運動，并使離子均勻地分布在水平方向和同步垂直掃描運動完成離子注入的劑量控制。基于這些功能要求，本文提出了一種高精密、多功能和程控式的離子注入機劑量控制器。首先介紹了離子注入機劑量控制器工作原理和功能，然后，詳細地闡述劑量控制器的系統構成和各功能模塊設計及功能實現。此控制器按功能主要分為多通道、多級量程的高精度束流與劑量測量模塊、掃描波形控制模塊、垂直掃描同步信號檢測與控制模塊等。最后，通過實驗驗證了此離子注入機劑量控制器的性能達到設計要求。
關鍵詞：離子注入；劑量控制；掃描波形；位置同步
在線預覽：離子注入機劑量控制器設計
摘自《自動化博覽》2016年10月刊
北京市公安局海淀分局備案號：11010802023656號